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    单晶硅棒加工成单晶硅抛光硅片工艺流程

    作者 :河南M6米乐 发布时间 :2015-10-27 浏览次数 :1608
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        加工流程
      单晶生长→切断→外径滚磨→平边或V型槽处理→切片
      倒角→研磨    腐蚀--抛光→清洗→包装
      切断 :目的是切除单晶硅棒的头部 、尾部及超出客户规格的部分 ,将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度 ,切取试片测量单晶硅棒的电阻率含氧量 。
      切断的设备 :内园切割机或外园切割机
      切断用主要进口材料 :刀片
      外径磨削 :由于单晶硅棒的外径表面并不平整且直径也比***终抛光晶片所规定的直径规格大 ,通过外径滚磨可以获得较为精确的直径 。
      外径滚磨的设备 :磨床
      平边或V型槽处理 :指方位及指定加工,用以单晶硅捧上的特定结晶方向平边或V型 。
      处理的设备 :磨床及X-RAY绕射仪 。
      切片 :指将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄晶片 。
      切片的设备 :内园切割机或线切割机
      倒角 :指将切割成的晶片税利边修整成圆弧形 ,防止晶片边缘破裂及晶格缺陷产生 ,增加磊晶层及光阻层的平坦度 。
      倒角的主要设备 :倒角机
      研磨 :指通过研磨能除去切片和轮磨所造的锯痕及表面损伤层 ,有效改善单晶硅片的曲度 、平坦度与平行度 ,达到一个抛光过程可以处理的规格 。
      研磨的设备 :研磨机(双面研磨)
      主要原料 :研磨浆料(主要成份为氧化铝 ,铬砂 ,水) ,滑浮液 。
      腐蚀 :指经切片及研磨等机械加工后 ,晶片表面受加工应力而形成的损伤层 ,通常采用化学腐蚀去除 。
      腐蚀的方式 :(A)酸性腐蚀 ,是***普遍被采用的 。酸性腐蚀液由硝酸(HNO3) ,氢氟酸(HF) ,及一些缓冲酸(CH3COCH ,H3PO4)组成 。
           (B)碱性腐蚀 ,碱性腐蚀液由KOH或NaOH加纯水组成 。
      抛光 :指单晶硅片表面需要改善微缺陷 ,从而获得高平坦度晶片的抛光 。
      抛光的设备 :多片式抛光机 ,单片式抛光机 。
      抛光的方式 :粗抛 :主要作用去除损伤层 ,一般去除量约在10-20um ;
            精抛 :主要作用改善晶片表面的微粗糙程度 ,一般去除量1um以下
      主要原料 :抛光液由具有SiO2的微细悬硅酸胶及NaOH(或KOH或NH4OH)组成 ,分为粗抛浆和精抛浆 。
      清洗 :在单晶硅片加工过程中很多步骤需要用到清洗 ,这里的清洗主要是抛光后的***终清洗 。清洗的目的在于清除晶片表面所有的污染源 。
      清洗的方式 :主要是传统的RCA湿式化学洗净技术 。
      主要原料 :H2SO4 ,H2O2 ,HF ,NH4HOH ,HCL
      损耗产生的原因
      A.多晶硅--单晶硅棒
      多晶硅加工成单晶硅棒过程中 :如产生损耗是重掺埚底料 、头尾料则无法再利用 ,只能当成冶金行业如炼铁 、炼铝等用作添加剂 ;如产生损耗是非重掺埚底料 、头尾料可利用制成低档次的硅产品 ,此部分应按边角料征税 。
      重掺料是指将多晶硅原料及接近饱和量的杂质(种类有硼 ,磷 ,锑 ,砷。杂质的种类依电阻的N或P型)放入石英坩埚内溶化而成的料 。
      重掺料主要用于生产低电阻率(电阻率<0.011欧姆/厘米)的硅片 。
      损耗 :单晶拉制完毕后的埚底料约15% 。
      单晶硅棒整形过程中的头尾料约20% 。
      单晶整形过程中(外径磨削工序)由于单晶硅棒的外径表面并不平整且直径也比***终抛光晶片所规定的直径规格大 ,通过外径磨削可以获得较为精确的直径 。损耗约10%-13% 。

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